Strumentazione SEM


SEM-1: Jeol JSM 5200

Specifiche:

  • Imaging: immagine da elettroni secondari
  • Risoluzione: 5,5 nm
  • Ingrandimento: da 15X a 200,000X
  • Voltaggio di accelerazione: 1, 2, 5, 10, 15, 20, 25 kV
  • Acquisizione digitale delle immagini

SEM-2: Hitachi S-2400

Specifiche:

  • Imaging: immagine da elettroni secondari; immagine da elettroni retrodiffusi
  • Risoluzione: 10.0 nm
  • Ingrandimento: da 20X a 300,000X
  • Voltaggio di accelerazione: 0.3-3 (passo 0.1 kV), 4-8 (passo 1 kV), 10, 12, 15, 18, 22, 25 kV
  • Acquisizione digitale delle immagini

SEM-3: Jeol JSM 5400

Specifiche:

  • Imaging: immagine da elettroni secondari
  • Microanalisi chimica mediante rilevatore EDS, tipo SDD, mapping della distribuzione elementare
  • Risoluzione: 5,5 nm
  • Ingrandimento: da 15X a 200,000X
  • Voltaggio di accelerazione: 1, 2, 5, 10, 15, 20, 25 kV
  • Acquisizione digitale delle immagini

SEM-4: Philips 515

Specifiche:

  • Imaging: immagine da elettroni secondari; immagine da elettroni retrodiffusi, con detector specifico allo stato solido
  • Microanalisi chimica qualitativa e quantitativa con standards mediante rilevatore EDS Si(Li)
  • Acquisizione digitale delle immagini

Alcuni esempi di applicazione


SEM-1
SEM-2
SEM-3
SEM-4